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| 研究生： |
余宗翰 Yu, Tsung-Han |
|---|---|
| 論文名稱： |
合成及修飾多核金屬團簇之官能基並探討其光阻材料於電子束與極紫外光微影技術之表現 Synthesis and modification of functional groups of multi-core metal clusters and study on photoresist performance in e-beam and EUV lithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
高蔡勝
Kao, Tsai-Sheng 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 120 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/22 (校內網路)全文公開日期 2028/07/22 (校外網路)