研究生: |
高唯甯 Kao, Wei-Ning |
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論文名稱: |
藉由漸層式堆疊氧化鋯鉿薄膜以改善鐵電電晶體元件效能及可靠度 Improved Performance and Reliability of Ferroelectric Field Effect Transistors by Composition Gradient Stacked Hf1-XZrXO2 Films |
指導教授: |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
口試委員: |
吳永俊
Wu, Yung-Chun 吳添立 Wu, Tian-Li |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 112 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 68 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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