研究生: |
尤君平 You, Jiun-Pyng |
---|---|
論文名稱: |
以鉬金屬薄膜促進鈷矽化物在矽晶上磊晶成長及其熱穩定性之研究 Epitaxial Growth and Thermal Stability of CoSi2 on (001)Si Substrate with an Interposing Mo Layer |
指導教授: |
陳力俊
Chen, Lih-Juann |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
畢業學年度: | 85 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 74 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
分享至: |
查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |