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| 研究生： |
林宗正 Tsung-Cheng Lin |
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| 論文名稱： |
濺鍍銅膜與化學氣相沉積銅膜在銅膜/擴散阻礙層/矽基材三層結構中之應力行為探討 A Study of Stress Behavior of Copper FilmsPrepared by Sputter and CVD Process in Cu/Diffusion Barrier/Si Three Layers Structer |
| 指導教授： |
周卓煇
Jwo-Huei Jou |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 67 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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