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| 研究生： |
王劭瑀 Wang, Shao-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
電感式耦合氬氣/三氟化氮脈衝遠距電漿放電數值模擬分析研究-局部動力模型 Numerical Simulation Analysis on Inductively Coupled Ar/NF3 Pulsed Remote Plasma Discharge -Local Kinetic Model |
| 指導教授： |
柳克強
Leou, Keh-Chyang |
| 口試委員: |
張家豪
Chang, Chia-Hao 郭峻甫 Kuo, Chun-Fu |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 208 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2027/12/23 (校內網路)全文公開日期 2027/12/23 (校外網路)