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| 研究生： |
蔡亦嘉 Tsai, Yi-Chia |
|---|---|
| 論文名稱： |
複合式高功率脈衝磁控濺鍍和直流磁控濺鍍系統鍍製(AlCrNbSiTi)N/(MoTaW)N 高熵合金多層膜之性質研究 Study on the properties of (AlCrNbSiTi)N/(MoTaW)N high entropy alloy multilayer films deposited by the hybrid system of HiPIMS and DCMS techniques |
| 指導教授： |
葉均蔚
Yeh, Jien-Wei |
| 口試委員: |
蔡哲瑋
李勝隆 洪健龍 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 205 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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