研究生: |
陳若瑄 Chen, Ruo-Syuan |
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論文名稱: |
基板偏壓對高功率脈衝磁控濺鍍製備氮化釩薄膜氧化行為之影響 Effect of Substrate Bias on Oxidation Behavior of VN Coatings Deposited by High Power Impulse Magnetron Sputtering |
指導教授: |
黃嘉宏
Huang, Jia-Hong |
口試委員: |
呂福興
Lu, Fu-Hsing 藍貫哲 Lan, Kuan-Che |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 112 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 95 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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