研究生: |
廖宇凡 Liao, Yu-Fan |
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論文名稱: |
單晶矽長晶製程之即時缺陷檢測與停機決策機制 Real-time Defect Detection and Stopping Rule for Single Crytal Silicon Growth Process |
指導教授: |
桑慧敏
Song, Whey-Ming 林東盈 Lin, Dung-Ying |
口試委員: |
遲銘璋
Chih, Ming-Chang 郭崇韋 Kuo, Chung-Wei 沈祖望 Shen, Tsu-Wang |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 工業工程與工程管理學系 Department of Industrial Engineering and Engineering Management |
論文出版年: | 2023 |
畢業學年度: | 111 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 33 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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