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| 研究生： |
孫胤宸 Sun, Yin-Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
以溫度梯度方式沉積氧化鋯鉿改善鐵電電容之極化量與耐久度表現 Improved Remanent Polarization and Enhanced Endurance of Ferroelectric Capacitors by Depositing HfZrOx Using Temperature Gradients |
| 指導教授： |
巫勇賢
WU, YUNG-HSIEN |
| 口試委員: |
吳永俊
WU, YUNG-CHUN 吳添立 Wu, Tian-Li |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 55 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2029/07/30 (校內網路)全文公開日期 2029/07/30 (校外網路)