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| 研究生： |
黃立杰 Hwang, Lee-Chieh |
|---|---|
| 論文名稱： |
基於快速熱退火矽化物技術之微小間隙電容式微機電超聲波元件製程開發 Process Development of Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers Based on Rapid Thermal Annealing Silicidation |
| 指導教授： |
李昇憲
LI, SHENG-SHIAN 傅建中 FU, CHIEN-CHUNG |
| 口試委員: |
周正三
Chou, Cheng-San 王地寶 Wang, Di-Bao |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 88 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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