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| 研究生： |
林金龍 Lin, King Lung |
|---|---|
| 論文名稱： |
移相式光罩之鉭矽薄膜製備與光學性質 Using Ta and Si as the new coating material for attenuated phase shift mask(PSM) blank |
| 指導教授： |
吳泰伯;甘炯耀
Tai-Bor Wu;Jon-Yiew Gan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 83 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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