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| 研究生： |
陳錦章 Chen, Chiing-Chang |
|---|---|
| 論文名稱： |
以二氟矽次甲基及四氯化鈦沉積矽化鈦薄膜之研究 Deposition of Titanium Silicide Films from Difluorosilylene and Titanium Tetrachloride |
| 指導教授： |
劉兆玄;裘性天
Liu, Chao Shiuan;Chiu, Hsin Tien |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 畢業學年度： | 82 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 136 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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