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| 研究生： |
莊文男 W. N. Chaung |
|---|---|
| 論文名稱： |
氫蝕刻機構對電漿輔助化學氣相沉積非晶氮化矽材料特性及其在薄膜電晶體電性上的影響 Effect of Hydrogen Etching Mechanism on the Material Characteristics of PECVD a-SiNx:H and Perpormance of a-Si:H TFTs |
| 指導教授： |
陳建瑞 馮明憲
J. R. Chen, M. S. Feng |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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