本論文實驗的目的是研究觀察射頻激發之橫向氣流二氧化碳雷射的三個特性：
(1) 觀察雷射輸出效能與混合氣體流速的關係。觀察的流速範圍從6SCFH到2.4SCFH（standard cubic feet per hour），結果發現若橫向氣流流速越快，則輸出功率及輸出效率會越好。
(2) 觀察在固定橫向氣流流速之下，雷射輸出效能與工作氣體氣壓的關係，觀察範圍為30torr到50torr。結果發現最佳輸出效率氣壓值約在38torr到36torr之間，並沒一個定值，會隨著每次實驗匹配電路調整的不同而有些許的改變。室溫下量測到最好的效率為8.5％。
(3) 觀察輸出效能與工作週期（duty cycle）的關係。實驗中雷射採用準連續輸出的方式來避免腔體溫度過高，發現工作週期為3％的時候有最佳的輸出效率。
雷射操作射頻頻率為150MHz，輸入功率800W，分別由16條BNC線連接到雷射共振腔體上16組阻抗匹配模組，再由阻抗匹配模組輸入功率到腔體上16個電極放電。共振腔是穩定腔，兩端用布魯斯特窗（Brewester window）封管，一端放置鍍金全反射球面鏡，另一端放置ZnSe平面輸出鏡，其反射率是80%。
內文共分為6章討論，第一章是緒論，簡單介紹一下二氧化碳雷射的緣起與技術進展；第二章是介紹二氧化碳雷射的工作原理；第三章介紹射頻激發的工作原理；第四章介紹實驗目的與架構；第五章討論實驗結果以及數據討論；第六章是結論。

1 雷射工程導論，丁勝懋 主編，（中央圖書出版社出版）第三章.

2 張瑞賢，分段式射頻激發二氧化碳平板波導及其陣列雷射之特性研究 國立清華大學碩士論文，2001.

3 G. Allcock and D. R. Hall, “An efficient, RF excited, waveguide CO2 laser”, Opt. Commun., vol. 37, no. 1, pp. 49-52, 1981.

4 P. Vidaud, D. He and D. R. Hall, “High efficiency RF excited CO2 laser”, Opt. Commun., vol. 56, no. 3, pp. 185-190, 1985.

5 Gas discharge physics, ed. By Y. P. Raizer, (Springer-Verlag) Chap.13.

6 D. He, and D. R. Hall, “Longitudinal voltage distribution in transverse RF discharge waveguide lasers”, J. Appl. Phys., vol. 54, no. 8, pp. 4367-4373, 1983.