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| 研究生： |
馬偉中 Wei-Chung Ma |
|---|---|
| 論文名稱： |
KrF準分子雷射LIGA製程用之光阻劑研究 Study on photoresist applied in KrF excimer laser LIGA process |
| 指導教授： |
李育德 博士
Dr. Yu-Der Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 118 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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