研究生: |
周竣堅 Jou, Juann-Jann |
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論文名稱: |
以鉬金屬薄膜促進鈦/矽晶界面反應C54矽化鈦形成之研究 Enhanced Formation of C54-TiSi2 by and Interposing Mo Thin Layer between Ti and Si |
指導教授: |
陳力俊
Chen, Lih-Juann |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
畢業學年度: | 85 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 48 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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