FFU(Fan Filter unit)是處理無塵室潔淨度的重要設備，其監控系統一直存在著許多重大問題，包括(1)線路複雜且數量多(2)施工不易(3)施工耗時(4)設置成本太高等問題。因此本研究探討以無線的方式取代傳統的作法，利用微波式RFID系統運用於電子廠無塵室的FFU監控系統。
而在文獻當中得知多種無線應用，以微波式RFID系統(Microwave，2.4GHz)的無線技術具有(1)多重目標讀取(2)通訊距離長(3)成本低等優勢，再賦予I/O介面感測功能，在監控的應用上更是成效顯著，本研究與工研院合作開發新興「微波式RFID感測應用」Reader一對多個Tag通訊，解決了傳統儀控線路的限制。
且因成本考量，本研究選擇RFID技術來進行驗證，利用RFID導入的方法，發展原型設計、開發、測試等程序，結果驗證微波式RFID導入FFU監控系統是可行的。在投資效益分析上，節省大量材料、提昇人工效率、增加彈性等指標量化之後，ROI經計算超過50%，非量化指標如避免設備擴充時停機風險，亦為本研究的成果。冀望能用以達到監控之外，可大量節省材料也盡到減碳及環保的責任，更進一步深入探討其它價值，建議可在危險場合(如礦場)、遠距離監視(如油管、路燈)等應用上使用。

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