研究生: |
江世明 Shi-Ming Chiang |
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論文名稱: |
金屬閘極在超薄閘介電層上完整性之研究 Study of Metal Gate on Ultra-thin Gate Dielectrics Integrity |
指導教授: |
吳孟奇
Meng-Chyi Wu 趙天生 Tien-Sheng Chao |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
論文出版年: | 2000 |
畢業學年度: | 88 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 68 |
相關次數: | 點閱:54 下載:0 |
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