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| 研究生： |
宋香怡 Song, Siang-Yi |
|---|---|
| 論文名稱： |
以田口方法改善銅蝕刻率與均勻性之研究 A Study on Improving Copper Etching Rate and Uniformity by Taguchi Methods |
| 指導教授： |
吳建瑋
Wu, Chien-Wei |
| 口試委員: |
林義貴
Lin, Yi-Kuei 陳子立 Chen, Tzu-Li |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 工業工程與工程管理學系碩士在職專班 Industrial Engineering and Engineering Management |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 55 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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