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| 研究生： |
謝永堰 Xie, Yong-Yan |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用電子迴旋共振沈積成長低溫硼與磷摻雜多晶矽薄膜電性與結構特性之研究 Study on electrical and structural properties of low temperature boron-and phosphorus-doped polycrystalline silicon thin films prepared by ECR-CVD |
| 指導教授： |
黃惠良
Huang, Hui-Liang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 23 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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