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| 研究生： |
簡俊宇 Chien, Chun-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
3D微影技術之光路徑補償研究—以振鏡系統製作光柵為例 Research on Optical Path Compensate of 3D Lithography Technology: Galvanometer System to make Grating Structure |
| 指導教授： |
傅建中
Fu, Chien-Chung |
| 口試委員: |
李三良
Lee, San-Liang 項維巍 Hsiang, Wei-Wei 張德宜 Chang, Te-Yi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 80 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2026/07/13 (校內網路)全文公開日期 2026/07/13 (校外網路)