研究生: |
黃兆志 Huang, Chao-Chih |
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論文名稱: |
電漿製程反應器中性饋入氣體之蒙地卡羅模擬分析 Monte Carlo Simulation of Neutral Feed-Gas Distribution in a Plasma Reactor |
指導教授: |
潘欽
Pan chin |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
畢業學年度: | 85 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 1 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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