研究生: |
潘龍輝 Pan, Lung Huei |
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論文名稱: |
濺鍍鈦在矽(111)基板快速退火之研究 The Sputtered Ti film on Si(111) Substrate after Rapid Thermal Annealing |
指導教授: |
吳信田
Wu Shinn Tyan |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
畢業學年度: | 83 |
語文別: | 中文 |
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