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研究生: 蔡郁涵
Yu-Han Tsai
論文名稱: 廣角入射X光波導管分光之可行性研究
Feasibility Study of Beam Splitting in Wide-Angle Incident X-Ray Wave Guides
指導教授: 張石麟
Shih-Lin Chang
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年: 2008
畢業學年度: 96
語文別: 中文
論文頁數: 50
中文關鍵詞: X光波導管
外文關鍵詞: X-ray Wave Guides
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  • 在之前,已對廣角入射X光波導管之垂直波導效應做過研究,如今希望能更進一步的研究此X光波導管分光之可行性,並且分析不同設計之分叉波導管的理論結果。波導管是以四吋矽晶片蝕刻,外表再於上下兩面鍍金,X光以廣角入射波導管,產生繞射光沿著表面行進。主要應用了波導原理及掠角入射波導管之駐波現象,當作分叉波導管之理論基礎。分叉波導管會由於不同夾角、不同寬度、不同設計而產生不一樣的結果,再分別比較其差異。


    The mechanism of beam compression in wide-angle incident x-ray waveguides has almost been understood, and now we turn our attention to the feasibility of beam splitting in wide-angle incident x-ray waveguides, and analysis of the theoretical grounds of splitting wave guides of different design. The waveguides were prepared from a 4-inch Si crystal wafer by using ICP process and coating with gold on both sides. An X-ray beam is coupled into the waveguides at wide-angle incidence, and the surface diffraction wave then propagates through the waveguides. The theoretical considerations on waveguiding and propagation of x rays in a planar waveguide are the main theme of this study. Results on waveguiding, beam splitting, and interference for waveguides of different width and angle of incidence will be reported and discussed.

    封面 摘要 英文摘要 致謝 目錄 圖目錄 第一章 序論 第二章 原理 2.1 繞射幾何 2.2 折射和全反射 2.3 波導原理 2.4 掠角入射波導管之駐波現象 第三章 波導管實驗樣品介紹 3.1 設計 3.2 光罩 3.3 黃光 3.4 蝕刻 3.5 鍍金 3.6 結語 第四章 波導管之理論及分析 4.1 實驗條件 4.2 分叉波導管之理論模擬 4.3 分叉波導管模擬之分析比較 4.3.1 出口不同設計之分叉波導管 4.3.2 不同夾角之分叉波導管 4.3.3 不同寬度之分叉波導管 4.4 直線波導管水平方向波導管效應理論分析 第五章 結論 參考文獻

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