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研究生: 李柏璇
Lee, Po-Hsuan
論文名稱: 合成多種錫團簇及含鹵素之錫團簇結構開發並應用於極紫外光光阻
Synthesis of Various Tin Clusters and Development of Tin Clusters Structures Containing Halogen Apply to Extreme Ultraviolet Photoresist
指導教授: 劉瑞雄
Liu, Rai-Shung
口試委員: 邱博文
Chiu, Po-Wen
許博淵
Shew, Bor-Yuan
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 化學系
Department of Chemistry
論文出版年: 2019
畢業學年度: 107
語文別: 中文
論文頁數: 568
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