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| 研究生： |
郭昱廷 Kuo, Yu-Ting |
|---|---|
| 論文名稱： |
閘極堆疊介面處理對鰭式電晶體之電特性與可靠度影響研究 Effects of Gate-stack Interfacial Treatment on Electrical and Reliability Characteristics in FinFET |
| 指導教授： |
張廖貴術
ChangLiao, Kuei-Shu |
| 口試委員: |
趙天生
Chao, Tien-Sheng 劉柏村 Liu, Po-Tsun |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 83 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2025/07/28 (校內網路)全文公開日期 2025/07/28 (校外網路)