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| 研究生： |
游振宇 Yew, Jen-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
電子束直寫微影成像製程與鎳、鈷矽化物於深次微米二氧化矽層開口中形成之研究 Electron Beam Direct Writing Lithography Process and Formation of NiSi2, CoSi2 inside Deep Submicron Size Oxide Openings |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen, Lih-Juann |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 127 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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