研究生: |
郭行健 Vick X. J. Guo |
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論文名稱: |
以微波電漿輔助CVD法於矽晶成長異質磊晶鑽石膜及其界面鑑定 Synthesis and Characterization of Interface of Heteroepitaxial Diamond Films on Silicon by MPECVD |
指導教授: |
施漢章
Dr. Han C. Shih |
口試委員: | |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 1999 |
畢業學年度: | 88 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 133 |
相關次數: | 點閱:1 下載:0 |
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