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| 研究生： |
彭珮雰 Peng, Pei-Fen |
|---|---|
| 論文名稱： |
氮流量和製程溫度對高功率脈衝磁控濺射製備之氮化釩鉬薄膜結構及性質的影響 Effects of Nitrogen Flow Rate and Deposition Temperature on the Structure and Properties of VMoN Thin Films Deposited by High Power Impulse Magnetron Sputtering |
| 指導教授： |
黃嘉宏
Huang, Jia-Hong |
| 口試委員: |
張銀祐
林郁洧 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 77 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2029/08/18 (校內網路)全文公開日期 2029/08/18 (校外網路)