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| 研究生： |
張家彰 Chang, Chia Chang |
|---|---|
| 論文名稱： |
藉低溫電漿輔助化學氣相沉積法以SiH4/H2及SiH4/Ar/H2 氣體進行矽沉積在矽和二氧化矽的研究 The Study of Si Deposition on Si and SiO2 by Low-Temperature 00oC) by PECVD from SiH4/H2 and SiH4/Ar/H2 Gases |
| 指導教授： |
張一熙 ; 游萃蓉
Chang, Yee Shyi ; Yew, Tri Rung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 81 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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