介質屏障放電((Dielectric barrier discharges，DBD)可產生大量的streamer，能夠有效的激發產生準分子發出高強度的紫外光，可以用來製作各種不同波長的紫外光源。本實驗所填充的氣體為Xe，其結構為一同軸石英管，利用正弦波與負高壓脈衝兩種功率源來激發電漿。在不同的操作條件下(外加電壓的振幅與頻率、Xe的壓力)，分別量測與分析其放電特性、光譜(UV/VIS/NIR)、UV power，研究UV power與各操作條件之關係，並且計算產生紫外光的效率，在本實驗的操作範圍內產生紫外光的效率可達8%，以及量測臭氧的濃度，可以發現不同氣壓下產生紫外光的組成波長不同。

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