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| 研究生： |
虞凱之 Kae Jy Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
控制氣氛下熱處理對氮化鈦覆膜性質影響研究 Effect of heat treatment under controlled atmosphere on the properties of TiN film deposited by unbalaced magnetron sputtering |
| 指導教授： |
喻冀平
Ge Ping Yu 黃嘉宏 Jia Hong Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 73 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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