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| 研究生： |
陳怡釗 Chen, Yi-Chao |
|---|---|
| 論文名稱： |
開發鉿金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影與極紫外光微影 Development of Hafnium Clusters and Blending Materials Apply to Electron Beam and Extreme Ultraviolet Lithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
高蔡勝
Kao, Tsai-Sheng 林俊宏 Lin, Chun-Hung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 182 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/24 (校內網路)全文公開日期 2028/07/24 (校外網路)