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| 研究生： |
杜政道 Cheng-Dow Duh |
|---|---|
| 論文名稱： |
探討銅及低介電常數材料之交互作用與機制 The Interaction and Mechanism between Copper and low-k Dielectric Constant Material |
| 指導教授： |
王天戈
Tien-Ko Wang 張廖貴術 Kuei-Shu Chang-Liao |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 87頁 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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