研究生: |
林郁洧 Lin, Yu-Wei |
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論文名稱: |
雙靶射頻磁控濺鍍氮化鈦鋯奈米複合膜結構與機械性質之研究 Microstructure and properties of nanocomposite (Ti,Zr)N films deposited by dual-targets radio frequency magnetron sputtering |
指導教授: |
喻冀平
Yu, Ge-Ping 黃嘉宏 Huang, Jia-Hong |
口試委員: | |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2010 |
畢業學年度: | 98 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 125 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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