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研究生: 林郁洧
Lin, Yu-Wei
論文名稱: 雙靶射頻磁控濺鍍氮化鈦鋯奈米複合膜結構與機械性質之研究
Microstructure and properties of nanocomposite (Ti,Zr)N films deposited by dual-targets radio frequency magnetron sputtering
指導教授: 喻冀平
Yu, Ge-Ping
黃嘉宏
Huang, Jia-Hong
口試委員:
學位類別: 博士
Doctor
系所名稱: 原子科學院 - 工程與系統科學系
Department of Engineering and System Science
論文出版年: 2010
畢業學年度: 98
語文別: 英文
論文頁數: 125
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