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| 研究生： |
李日參 Lee, Ruh-San |
|---|---|
| 論文名稱： |
以電子迴旋共振化學氣相沉積法低溫成長磷攙雜氫化多晶矽其電性之改善 Improvement on the Electrical Properties of In-situ Phosphorus Doped Hydrogenated Polycrystalline Silicon Thin Films Grown by Low Temperature ECR-CVD |
| 指導教授： |
黃惠良
Hwang, Huey-Liang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 31 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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