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研究生: 施博真
Shih, Po-chen
論文名稱: 以離子束在矽晶片上做直接圖案產生之研究
The Study of Direct Pattern Generation by Ion Beam on The Silicon Wafer
指導教授: 蘇青森
Su Ching-sen
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 原子科學院 - 生醫工程與環境科學系
Department of Biomedical Engineering and Environmental Sciences
畢業學年度: 85
語文別: 中文
論文頁數: 75
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