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| 研究生： |
姜政宏 Cheng-Hong Jiang |
|---|---|
| 論文名稱： |
加馬照射有機低介電常數材料對抑制銅擴散的影響 Suppression of Copper Diffusion by γ Irradiated low-k Organic Dielectric Material |
| 指導教授： |
王天戈 博士
Tien-Ko Wang 張廖貴術 博士 Kuei-Shu Chang-Liao |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 119 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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