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| 研究生： |
曾思蒨 Tseng, Szu-Chien |
|---|---|
| 論文名稱： |
以反應式直流濺鍍法製備AlCrNbSiTa 高熵氮化物薄膜及其性質探討 Study on AlCrNbSiTa Nitride Films Deposited by Reactive DC Sputtering |
| 指導教授： |
葉均蔚
Yeh, Jien-Wei |
| 口試委員: |
楊智超
李勝隆 曹春暉 葉均蔚 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2012 |
| 畢業學年度： | 100 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 167 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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