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研究生: 詹雅婷
論文名稱: Modified VEWMA回饋控制器在兼具平移與漂移之IC製程的績效表現
指導教授: 曾勝滄
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 統計學研究所
Institute of Statistics
論文出版年: 2007
畢業學年度: 95
語文別: 中文
論文頁數: 53
中文關鍵詞: 批次控制EWMA回饋控制器隨機平移線性漂移變動折扣因子
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  • 針對生產製程兼具隨機平移和線性漂移等現象,目前尚無批次控制方法在此架構下討論,不過已有不少相關文獻分別探討僅包含隨機平移或線性漂移之製程。針對有隨機平移的生產製程,Chen and Elsayed (2002) 提出一描述隨機平移現象的模型,並推導出EWMA回饋控制器之最適固定折扣因子;而針對有線性漂移的生產製程,Tseng, et al.(2007) 提出Modified VEWMA回饋控制器,以簡單的回饋控制機制來克服製程存在線性漂移現象,同時利用變動折扣因子加快製程產出的收斂速度。本論文主要探討Modified VEWMA回饋控制器在製程兼具隨機平移和線性漂移的情況下之績效表現,以及有別於Tseng, et al.(2007) 限制在指數遞減之變動折扣因子選取方式,採用解析解的方法推導出最適變動折扣因子,最後將以模擬研究比較不同變動折扣因子挑選方式之Modified VEWMA以及Chen and Elsayed (2002) 回饋控制器之績效表現。


    第一章 簡介 1 1.1 前言 1 1.2 批次控制簡介 2 1.3 研究動機與目的 4 1.4 研究架構 4 第二章 文獻回顧及問題描述 6 2.1固定折扣因子EWMA回饋控制器 7 2.2變動折扣因子EWMA回饋控制器 9 2.3 問題描述 11 第三章 Modified VEMWA回饋控制器之分析 14 3.1 Modified VEWMA回饋控制器之穩定條件 14 3.2 最適變動折扣因子挑選方式 16 3.2.1 製程隨機干擾項為ARMA(1,1)模型之最適變動折扣因子 16 3.2.2 製程隨機干擾項為IMA(1,1)模型之最適變動折扣因子 18 第四章 模擬比較 20 4.1 Method 1之Modified VEWMA與CE Method之績效表現 21 4.2 三種Modified VEWMA之績效表現 25 4.2.1 不同 之下之績效表現 28 4.2.2 及 估計準確性之敏感度分析 32 第五章 結論與後續研究 41 附錄 43 參考文獻 52

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