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| 研究生： |
高祺閔 Chi-Min Kao |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用實驗設計法以三氯化硼/溴化氫之電感式耦合電漿非選擇性蝕刻砷化銦鎵/砷化鎵/磷化銦鎵之研究 A Design of Experiment for Nonselective Etching InGaAs/GaAs/InGaP in Inductively Coupled Plasma BCl3/HBr Discharges |
| 指導教授： |
張一熙
Yee-Shyi Chang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 87 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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