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| 研究生： |
楊惠名 Yang, Hui-Ming |
|---|---|
| 論文名稱： |
以樞紐致動器達成動態解耦合之雙軸壓電式微掃描面鏡設計 Design of Bi-axial Piezoelectric MEMS Micro Mirror with Gimbal Actuator for Dynamic Decoupling |
| 指導教授： |
方維倫
Fang, Wei-leun |
| 口試委員: |
賴梅鳳
Lai, Mei-Feng 謝哲偉 Hsieh, Jerwei |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 120 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2026/07/30 (校內網路)全文公開日期 2026/07/30 (校外網路)