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| 研究生： |
陳秋能 |
|---|---|
| 論文名稱： |
x光深刻術能譜改變於表面粗糙度之影響 SURFACE ROUGHNESS CONTROL BY ENERGY SHIFT IN DEEP X-RAYS LITHOGRAPHY |
| 指導教授： |
程 曜 博士
Dr.Yao Chang 錢景常 博士 Dr.Ching-Chang Chieng |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 89 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 66 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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