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| 研究生： |
徐茂紘 Hsu, Mao-Hong |
|---|---|
| 論文名稱： |
阻障膜薄膜應力量測之實驗探討 Experimental Investigation of Thin-film Stress of Barrier Films |
| 指導教授： |
王偉中
Wang, Wei-Chung |
| 口試委員: |
蔡宏營
羅裕龍 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2019 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 117 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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