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| 研究生： |
李沛恩 Lee, Pei-En |
|---|---|
| 論文名稱： |
週期與成分比例對 TiN/AlSiN 多層膜之附著性及抗氧化性探討 Study on the adhesion and oxidation resistance of TiN/AlSiN multilayer thin film |
| 指導教授： |
葉均蔚
Yeh, Jien-Wei 蔡哲瑋 Tsai, Che-Wei |
| 口試委員: |
陳士勛
Chen, Shih-Hsun 杜正恭 Duh, Jenq-Gong |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 89 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2028/08/20 (校內網路)全文公開日期 2028/08/20 (校外網路)