本實驗利用核共振反應1H（19F ,αγ）16O分析材料中氫原子的縱深分佈，實驗系統架構於清華大學原科中心9SDH-2串級式加速器已設置之0°射束線，由NaI偵檢器蒐集核反應所產生的γ-射線，藉由比較待測試片與標準試片的γ-射線產額，可以求得試片中氫原子的濃度，改變19F離子束入射能量則可求得不同深度的氫原子濃度。
另外，本實驗與彈性回跳量測技術分析相同的一組試片，兩種方式所得到的量測結果，將在本文中進行討論。

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