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| 研究生： |
陳世豪 Chen, Shih Hao |
|---|---|
| 論文名稱： |
電漿製程反應器內中性氣體濃度分佈之電腦模擬分析 Computer simulation and analysis of neutral-radical concentration and local distribution in a plasma processing chamber |
| 指導教授： |
潘欽
Pan Chin |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 86 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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