研究生: |
蔡佳凌 |
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論文名稱: |
反應式直流磁控濺鍍法製備 (Al,Cr,Nb,Si,B,C)100-xNx 高熵薄膜之研究 Study on High-entropy Nitride Films of (Al,Cr,Nb,Si,B,C)100-xNx by DC Reactive Magnetron Sputtering |
指導教授: | 葉均蔚 |
口試委員: |
洪健龍
李勝隆 楊智超 孫道中 |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 2014 |
畢業學年度: | 102 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 208 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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