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研究生： 林敏男
論文名稱： 半導體業作業環境中揮發性有機化合物氣相層析質譜儀分析方法建立
指導教授： 鍾堅
羅俊光
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 原子科學院 - 生醫工程與環境科學系
Department of Biomedical Engineering and Environmental Sciences
論文出版年： 2000
畢業學年度： 88
語文別： 中文
論文頁數： 68
中文關鍵詞： 揮發性有機化合物 、多重床採樣管 、熱脫附
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    • 本實驗為利用自動化連續採樣器進行24小時採樣，每小時採一次，採樣後以冷凍濃縮自動熱脫附儀配合氣相層析質譜儀，對作業環境中之9種揮發性有機化合物(VOCs)進行定性及定量分析。在採樣方法上，利用多重床採樣管，於常溫下採集樣品，多重床採樣管內填充0.2克Carbopack B、0.2克Carbopack C和0.2克Carbosieve SⅢ，以冷凍熱脫附方式進樣，探討方法的可行性及儀器之最佳條件。
    在採樣體積為1升，相對濕度80%的條件下，方法偵測極限為0.31ppb∼0.89ppb，平均樣品回收率則介於91.52% ~ 100.19%之間。並將所建立之方法實際應用於園區半導體廠之現場量測，A廠量測結果以異丙醇之平均濃度182.3ppb為最高，丙酮之平均濃度117.9ppb次之，甲苯之平均濃度29.1ppb為最低。B廠量測結果以異丙醇之平均濃度405.9ppb為最高，丙酮之平均濃度204.8ppb次之，甲苯之平均濃度33.4ppb為最低。

    第一章 前言……………………………………………………………1 第二章 文獻回顧………………………………………………………7 2-1 採樣方法………………………………………………………...7 2-2 固體吸附劑的選擇……………………………………………...8 2-3 儀器分析………………………………………………………...9 第三章 實驗方法……………………………………………………..12 3-1 化學藥品與性質………………………………………………..12 3-2 儀器設備………………………………………………………...13 3-2-1 採樣袋……………………………………………………...13 3-2-2 自動化連續採樣裝置……………………………………...13 3-2-3 冷凍濃縮熱脫附儀………………………………………...14 3-2-4 氣相層析質普儀…………………………………………...16 3-3 實驗方法………………………………………………………...17 3-3-1 氣態標準品配製…………………………………………...17 3-3-2 採樣管的製備………………………………………….…..18 3-3-3 破出體積測試………………………………………….…..19 3-3-4 採樣流速穩定性測試………………………………….…..20 3-3-5 冷凍濃縮熱脫附儀之最佳化條件…………………….…..21 3-3-6 校正曲線…………………………………………………...22 3-3-7 樣品儲存穩定性測試……………………………………...22 3-3-8 樣品回收率測試…………………………………………...22 第四章 實驗結果與討論……………………………………………...24 4-1 管柱分析條件…………………………………………………...24 4-2 破出體積的量測………………………………………………...27 4-3 採樣流速穩定性測試…………………………………………...29 4-4冷凍濃縮熱脫附儀之最佳化條件……………………………...31 4-4-1 脫附溫度…………………………………………………...31 4-4-2 脫附時間…………………………………………………...35 4-4-3 冷凝濃縮溫度……………………………………………...38 4-4-4 冷凝脫附時間……………………………………………...41 4-5 再現性…………………………………………………………..44 4-6 校正曲線………………………………………………………..44 4-7 方法偵測極限…………………………………………………...47 4-8 樣品回收率測試………………………………………………...47 4-9 樣品儲存穩定性測試…………………………………………...47 4-10 環境實測………………………………………………………..51 4-10-1 半導體A廠之黃光區……………………………………..51 4-10-2 半導體B廠之黃光區……………………………………..57 第五章 結論………………………………………………………..…..64 第六章 參考文獻……………………………………………………....66

    1. 園區管理局，『科學工業園區空氣品質監測計畫—揮發性有機化合物背景濃度調查及監測點規劃』，84年6月
    2. 園區管理局，『科學工業園區空氣品質監測計畫—揮發性有機化合物背景濃度調查及監測點規劃』，86年5月
    3. 新竹市環保局，『新竹科學園區工廠污染排放調查與空氣品質影響評估計畫』，86年6月
    4. 新竹市環保局，『新竹科學園區工廠污染排放調查與空氣品質影響評估計畫』，87年8月
    5. 新竹市環保局，『新竹科學園區工廠污染排放調查與空氣品質影響評估計畫』，87年10月
    6. 新竹市環保局，『新竹科學園區工廠污染排放調查與空氣品質影響評估計畫』，88年6月
    7. 中華民國環保法規“台灣省固定污染源空氣污染物排放標準”，489-503
    8. M. N. Kayali, S. R. Barroao and L. M. Polo-Diez, J. Chromatogr. Sci., 33, 181 (1995)
    9. M. J. Hansen, B. N. Hansen, E. Cravens and R. E. Slievers, Anal Chem.67,3541 (1993)
    10. I. Fernandez, J. Dachs and J. M. Bayona, J. Chromatogr. A., 719, 77 (1996)
    11. B. E. Richter, J. L. Ezzell, D. Felix, K. A. Robertts, and D. W. Later, Am Lab., 27,24 (1995)
    12. B. E. Richter, B. A. Jones, J.L. Ezzell, and N. L. Porter, Anal Chem., 68,1033 (1996)
    13. U.S.EPA Compendium Method TO-14 SUMMA canister
    14. U.S.EPA Compendium Method TO-15 SUMMA canister
    15. U.S.EPA Compendium Method TO-17 Multsorbent trap
    16. Howard L. Crist, ASTM, STP, 1052, 46-52 (1990)
    17. National Inatitute of Occupational Safety and Health (NIOSH), Manual of Sampling Data Sheets, Publ. 77-159, Deparment of Health, Education and Welfare (NIOSH), Cincinnati, (1977)
    18. 行政院勞工委員會, 1992 ;“作業環境中有害物質標準分析參考方法操作手冊(下)”
    19. A. J. Nunea, L. F. Gonzalez, J. Lanak, J. Chromatogr., 300, 127 (1984)
    20. https:// www.sigma-ldrich.com/SAWS.nsf/Pages/Main
    21. 楊廣苓,國立清華大學博士論文,民國86年6月
    22. N. Schmidbauer and M. Oehme, Fresenius J Anal Chem., 331, 14 (1988)
    23. L. Wolska, W. Janicki and J. Namiesnik, Analyst., 120, 2781 (1995)
    24. P. Ciccioli, E. Brancaleoni, A. Cecinato, A. Brachetti and A. Liberti, Journal of Chromatography., 351, 433 (1986)
    25. X. L. Cao and C. N. Hwitte, Chemosphere., 239, 617 (1993)
    26. Richard W. Crawford, Anal Chem., 54, 817 (1982)
    27. Jacet Namiesnik, Journal of Chromatography., 208, 239 (1981)
    28. R. H. Brown and C. J. Purnell, Journal of Chromatography., 7, 308 (1979)
    29. R. J. B. Peters and H. A. Bakkeren, Analyst.,119, 1501 (1994)
    30. P. Comes, N. Gonzalez-Flesca, T. Menard and J. O. Grimalt, Anal Chem., 65, 1048 (1993)

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