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研究生: 劉廷淵
Liu, Ting-Yuan
論文名稱: 應用於懸浮微粒感測之高傳感效率 CMOS-MEMS 熱致動壓阻感測振盪器設計
CMOS-MEMS Thermal-Piezoresistive Oscillators with High Transduction Efficiency for Aerosol Sensing Applications
指導教授: 李昇憲
Li, Sheng-Shian
口試委員: 方維倫
Fung, Wei-Leun
鄭裕庭
Cheng, Yu-Ting
李尉彰
Li, Wei-Chang
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 奈米工程與微系統研究所
Institute of NanoEngineering and MicroSystems
論文出版年: 2017
畢業學年度: 105
語文別: 中文
論文頁數: 94
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