研究生: |
劉廷淵 Liu, Ting-Yuan |
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論文名稱: |
應用於懸浮微粒感測之高傳感效率 CMOS-MEMS 熱致動壓阻感測振盪器設計 CMOS-MEMS Thermal-Piezoresistive Oscillators with High Transduction Efficiency for Aerosol Sensing Applications |
指導教授: |
李昇憲
Li, Sheng-Shian |
口試委員: |
方維倫
Fung, Wei-Leun 鄭裕庭 Cheng, Yu-Ting 李尉彰 Li, Wei-Chang |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
論文出版年: | 2017 |
畢業學年度: | 105 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 94 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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